Cristal YAG
Cristalul YAG (Yttrium Aluminium Garnet, Y₃Al₅O₁₂) este un laser de înaltă{0}}performanță și un material optic cunoscut pentru duritatea sa ridicată, conductivitate termică ridicată, stabilitate chimică bună și omogenitate optică excelentă. Este utilizat pe scară largă în lasere cu stare solidă-, substraturi cu LED-uri fosfor, ferestre optice, echipamente laser medicale și sisteme electro-optice de apărare.
Compania Hemei posedă o expertiză tehnică profundă în prelucrarea de precizie a materialelor dure și casante. Pentru cristalele YAG, Hemei a dezvoltat un proces de lustruire eficient și stabil care permite o prelucrare complet controlabilă, de la lustruire brută la lustruire fină, asigurându-se că suprafața cristalului YAG îndeplinește standardele de calitate de „grad-laser” sau „grad-optic”.
Cerințe de aplicare
Obiectivele de lustruire pentru cristalele YAG includ:
Reducerea rugozității suprafeței (Ra) la< 0.5 nm.
Atingerea preciziei figurii suprafeței (valoarea PV) mai bună decât λ/10 (@632,8 nm).
Asigurarea unei-suprafețe fără daune, fără fisuri sub-suprafaței, îndeplinind cerințele privind pragul de daune induse de laser-.
Controlul uniformității grosimii (TTV) într-un interval specific de micrometru.
Pentru a atinge aceste obiective, procesul Hemei folosește sisteme de lipire personalizate și proceduri de lustruire în mai multe-etape pentru a asigura acuratețea geometrică și integritatea suprafeței în timpul procesării.
Specificații de sistem
Sistemul modular de lustruire Hemei acceptă procesarea cristalelor YAG de diferite dimensiuni și forme. Sistemele de bază includ:
HSM-Echipamentul de șlefuit din seria L/LP: Pentru îndepărtarea inițială a materialului și controlul grosimii.
Sistemul de lustruire chimică mecanică (CMP) din seria HSM-CMP: pentru a obține suprafețe ultra-netede, fără-deteriorări.
Subsistemele cheie includ:
Unitate de legare specifică-plachetei/cristalelor (WB)
Dispozitive de lustruire de precizie din seria SJ/ASJ
C-Sistem de lustruire cu viteză mare-Cap de antrenare ASJ
Fluxul de procesare
Lipire și montare: Cristalul YAG este lipit temporar de o placă suport folosind unitatea WB, apoi montat pe dispozitivul de lustruire.
Lustruire brută și intermediară: Se efectuează șlefuirea controlată pe echipamentul HSM-L pentru a îndepărta stratul deteriorat de procesare.
Lustruire fină: Sistemul HSM-CMP realizează lustruirea finală. Parametri precum presiunea, viteza de rotație și debitul de șlam sunt ajustați în timp real-pentru a obține o netezime a suprafeței la nivel de nanometri-.
Rezultate tipice
Rugozitatea suprafeței Ra < 0,5 nm.
Precizia cifrei de suprafață PV Mai mică sau egală cu λ/10.
Viteza de îndepărtare a materialului controlabilă de 1-2,5 μm/min.
Potrivit pentru napolitane YAG cu diametrul mai mic sau egal cu 6 inci și cristale în formă.
Compania Hemei oferă o soluție completă și fiabilă de lustruire pentru cristalele YAG, capabilă să ofere în mod constant o calitate a suprafeței la nivel de nanometri{0}}și performanțe optice ridicate. Acest lucru sprijină aplicarea industrială a cristalelor YAG în domenii-de ultimă generație, cum ar fi laserele și optoelectronica.
