Cristal YAG
1. Introducere
Cristalul YAG (Yttrium Aluminium Garnet, Y₃Al₅O₁₂) este un laser excelent și un material optic cunoscut pentru duritatea sa ridicată, conductivitate termică ridicată, stabilitate chimică bună și omogenitate optică superioară. Este utilizat pe scară largă în lasere cu stare solidă-, substraturi cu LED-uri fosfor, ferestre optice, echipamente laser medicale și sisteme electro-optice de apărare.
Compania Hemei posedă o expertiză tehnică profundă în prelucrarea de precizie a materialelor dure și casante. A dezvoltat un proces de lustruire eficient și stabil special pentru cristalele YAG, permițând procesarea complet controlabilă de la lustruire brută la lustruire fină. Acest lucru asigură că suprafața cristalului YAG îndeplinește standardele de calitate pentru aplicațiile de „grad-laser” sau „grad-optic”.
2. Cerințe de aplicare
Obiectivele de lustruire pentru cristalele YAG includ:
Rugozitatea suprafeței (Ra) redusă la < 0,5 nm.
Precizia figurii suprafeței (valoare PV) mai bună decât λ/10 (@632,8 nm).
Suprafață fără daune și fisuri sub-suprafață, îndeplinind cerințele pragului de deteriorare indusă de laser{{1}(LIDT).
Uniformitatea grosimii (TTV) controlată într-un interval micrometru specificat.
Pentru a atinge aceste obiective, procesul Hemei utilizează un sistem de lipire personalizat și o procedură de lustruire în mai multe-etape, asigurând acuratețea geometrică și integritatea suprafeței în timpul procesării.
3. Specificații de sistem
Sistemul modular de lustruire Hemei sprijină procesarea cristalelor YAG în diferite dimensiuni și forme. Sistemul de bază include:
Echipament de lepăt seria HSM-L/LP:Folosit pentru îndepărtarea inițială a materialului și controlul grosimii.
Sistemul de lustruire chimică mecanică (CMP) din seria HSM-CMP: Folosit pentru a obține o suprafață ultra-netedă, fără-deteriorări.
Subsisteme cheie:
Unitate de legare specifică-plachetei/cristalelor (WBU)
Dispozitive de lustruire de precizie din seria SJ/ASJ
C-Sistem de lustruire cu viteză mare-Cap de antrenare ASJ
4. Fluxul de procesare
Lipire și montare:Cristalul YAG este lipit temporar de o placă suport folosind WBU și apoi montat pe dispozitivul de lustruire.
Lustruire brută și intermediară: La echipamentul HSM-L se efectuează poleirea controlată pentru a îndepărta stratul deteriorat de la prelucrare.
Lustruire fină: Sistemul HSM-CMP este utilizat pentru lustruirea finală. Prin ajustarea parametrilor cum ar fi presiunea, viteza de rotație și debitul de nămol în timp real-, se obține un finisaj de suprafață la scară nanometrică.
5. Rezultate tipice
Rugozitatea suprafeței: Ra < 0,5 nm
Precizia figurii suprafeței: PV Mai mică sau egală cu λ/10
Rata de îndepărtare a materialului: 1-2,5 μm/oră (reglabil)
Se aplică napolitanelor YAG cu diametrul mai mic sau egal cu 6 inci și cristalelor de formă neregulată.
6. Rezumat
Compania Hemei oferă o soluție completă și fiabilă de lustruire pentru cristalele YAG, capabilă să atingă în mod constant calitatea suprafeței la scară nanometrică și performanță optică ridicată. Acest lucru susține aplicarea industrială a YAG în domenii-de ultimă generație, cum ar fi laserele și optoelectronica.
Procesul de mai sus este finalizat folosind mașina de șlefuit și lustruit Hemei Semiconductor
